Patterning of nanocrystalline diamond films for diamond microstructures useful in mems and other devices

WO0157295 Art A2 9. August 2001

Anmelder: The University of Chicago 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0157295
Aktenzeichen
EP01905146
Anmeldetag
26. Januar 2001
Veröffentlichung
9. August 2001
Rechtsraum
WO
IPC
C30B23/04C30B25/04C30B25/18C30B29/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
The University of Chicago
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 The University of Chicago

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