Patterning of nanocrystalline diamond films for diamond microstructures useful in mems and other devices
WO0157295
Art A2
9. August 2001
Anmelder: The University of Chicago 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0157295
- Aktenzeichen
- EP01905146
- Anmeldetag
- 26. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 9. August 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B23/04C30B25/04C30B25/18C30B29/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The University of Chicago
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
The University of Chicago
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