Vorrichtung und Verfahren zur Messung eines Elektrischen Feldes in einem Plasma

WO0161367 Art A1 23. August 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0161367
Aktenzeichen: EP01908992
Anmeldetag: 9. Februar 2001
Veröffentlichung: 23. August 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G01R29/08H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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