Semiconductor integrated circuit device and method of producing the same, and method of producing masks

WO0163653 Art A1 30. August 2001

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0163653
Aktenzeichen: EP00905343
Anmeldetag: 25. Februar 2000
Veröffentlichung: 30. August 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F1/08H01L21/82

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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