Verfahren zur Herstellung von mehreren Halbleiterschichten mittels Reihen von Gräben
WO0163654
Art A2
30. August 2001
Anmelder: NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0163654
- Aktenzeichen
- EP01916124
- Anmeldetag
- 20. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 30. August 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
North Carolina State University
US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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