Elektrische Steuerung der Plasma-Uniformität in einer Plasmaquelle Hoher Dichte

WO0165895 Art A2 7. September 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0165895
Aktenzeichen: EP01914529
Anmeldetag: 28. Februar 2001
Veröffentlichung: 7. September 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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