Verfahren zur Herstellung von Schichtigen Supergittermateralien durch Chemische Abscheidung aus der Dampfphase

WO0166834 Art A2 13. September 2001

Anmelder: SYMETRIX CORPORATION, MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0166834
Aktenzeichen: EP01912893
Anmeldetag: 21. Februar 2001
Veröffentlichung: 13. September 2001
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/68C30B29/30H01L21/316H01L21/02C23C16/46C23C16/40H01L27/115H01L27/112

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SYMETRIX CORPORATION
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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