Photolithographisches Verfahren in der Halbleiterproduktion

WO0171427 Art A1 27. September 2001

Anmelder: MOTOROLA, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0171427
Aktenzeichen
EP01915587
Anmeldetag
19. März 2001
Veröffentlichung
27. September 2001
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/14H01L21/266
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MOTOROLA, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Motorola

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit historischem Sitz in Schaumburg, Illinois. Motorola war ein bedeutender Hersteller von Mobilfunkgeräten, Halbleitern und Kommunikationstechnik, bevor es in mehrere Nachfolgegesellschaften wie Motorola Solutions und Motorola Mobility aufgeteilt wurde.

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