Kohärent Gesteuerte Abscheidung im Nanometerbereich

WO0171778 Art A2 27. September 2001

Anmelder: YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT COMPANY, LTD., Brumer, Paul 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0171778
Aktenzeichen: EP01917424
Anmeldetag: 20. März 2001
Veröffentlichung: 27. September 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT COMPANY, LTD.
Brumer, Paul
Land: 🇮🇱 Israel

🇮🇱 Yeda Research and Development

Israelische Technologietransfergesellschaft des Weizmann-Instituts, die die dort entstandenen Forschungsergebnisse patentiert und deren kommerzielle Verwertung organisiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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