Coherent Gradient Sensing Ellipsometer

WO0173376 Art A1 4. Oktober 2001

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0173376
Aktenzeichen: EP01926447
Anmeldetag: 27. März 2001
Veröffentlichung: 4. Oktober 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/06G01J4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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