Chemical Amplification Type Positive Resist Composition

WO0173512 Art A1 4. Oktober 2001

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0173512
Aktenzeichen: EP01915674
Anmeldetag: 21. März 2001
Veröffentlichung: 4. Oktober 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039C08F220/28C08F212/14H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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