Aligner, apparatus and method for transferring wafer, microdevice and method for manufacturing the same

WO0173825 Art A1 4. Oktober 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0173825
Aktenzeichen: EP01917599
Anmeldetag: 29. März 2001
Veröffentlichung: 4. Oktober 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01L21/68B65G49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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