Mehrstrahl-Belichtungsvorrichtung mit einer Mehrachsen-Elektronenlinse, Mehrachsen-Elektronen-Linse zum Fokussieren von Elektronenstrahlen und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
WO0175948
Art A1
11. Oktober 2001
Anmelder: ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0175948
- Aktenzeichen
- EP01915699
- Anmeldetag
- 22. März 2001
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027G03F7/20H01J37/305H01J37/065H01J37/141
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANTEST CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Kanzlei
Tetzner & Partner mbB
München, Deutschland
Tetzner & Partner mbB ist eine Münchner Patent- und Rechtsanwaltskanzlei, die seit 1962 zu Patentrecht, Markenrecht und weiteren Bereichen des gewerblichen Rechtsschutzes berät und Mandanten als European Patent and Trademark Attorney vertritt.
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