Optical monitoring and control system and method for plasma reactors

WO0176326 Art A1 11. Oktober 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0176326
Aktenzeichen: EP01924570
Anmeldetag: 30. März 2001
Veröffentlichung: 11. Oktober 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H05F3/00B01J19/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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