Method for observing surface of sample, method for observing surface of sample by electron microscope, electron microscope, and method for manufacturing semiconductor device

WO0180280 Art A1 25. Oktober 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0180280
Aktenzeichen: EP01921796
Anmeldetag: 9. April 2001
Veröffentlichung: 25. Oktober 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/29H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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