Pattern drawing apparatus and pattern drawing method

WO0180292 Art A1 25. Oktober 2001

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0180292
Aktenzeichen: EP00917364
Anmeldetag: 19. April 2000
Veröffentlichung: 25. Oktober 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01J37/30

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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