Wafer stage with magnetic bearings

WO0181171 Art A1 1. November 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0181171
Aktenzeichen: EP00923573
Anmeldetag: 21. April 2000
Veröffentlichung: 1. November 2001
Rechtsraum: WO
IPC: B64C17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Luft- & Raumfahrttechnik

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