Silicon single-crystal wafer, method for producing silicon single crystal, and method for fabricating silicon single-crystal wafer

WO0181661 Art A1 1. November 2001

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0181661
Aktenzeichen
EP01921880
Anmeldetag
18. April 2001
Veröffentlichung
1. November 2001
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/00H01L29/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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