Verfahren und Vorrichtung für die Abschirmung einer Ventilöffnung und Anderer Ventilteile

WO0181800 Art A2 1. November 2001

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0181800
Aktenzeichen
EP01924984
Anmeldetag
12. April 2001
Veröffentlichung
1. November 2001
Rechtsraum
WO
IPC
F16K1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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