Apparatus and methods for detecting killer particles during chemical mechanical polishing
WO0181902
Art A1
1. November 2001
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0181902
- Aktenzeichen
- EP01932589
- Anmeldetag
- 19. April 2001
- Veröffentlichung
- 1. November 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/55
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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