Method and apparatus for measurement, and method and apparatus for exposure

WO0181907 Art A1 1. November 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0181907
Aktenzeichen: EP01917598
Anmeldetag: 29. März 2001
Veröffentlichung: 1. November 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/409G01N27/26G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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