Heizungsregelsystem mit Entfernten Einheiten, die Integrierte Stromversorgungen Aufweisen und Elektronische Temperaturregelung

WO0182018 Art A2 1. November 2001

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0182018
Aktenzeichen: EP01932587
Anmeldetag: 20. April 2001
Veröffentlichung: 1. November 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G05D23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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