Verfahren und Vorrichtung zum Transport von Wafern

WO0182338 Art A1 1. November 2001

Anmelder: Linde AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0182338
Aktenzeichen: EP01931598
Anmeldetag: 12. April 2001
Veröffentlichung: 1. November 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Linde AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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