Verfahren und Einrichtung zur Kontrolle von Chemischen Wechselwirkungen in der Planarization von Mikroelektronischen Substraten

WO0182356 Art A2 1. November 2001

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0182356
Aktenzeichen: EP01932733
Anmeldetag: 26. April 2001
Veröffentlichung: 1. November 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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