Production method of silicon mirror wafer

WO0182358 Art A1 1. November 2001

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0182358
Aktenzeichen
EP01921879
Anmeldetag
18. April 2001
Veröffentlichung
1. November 2001
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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