Auto-switching gas delivery system utilizing sub-atmospheric pressure gas supply vessels

WO0183082 Art A1 8. November 2001

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0183082
Aktenzeichen: EP01930871
Anmeldetag: 27. April 2001
Veröffentlichung: 8. November 2001
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/02G05B11/01G06F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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