High quality silicon wafer and method for producing silicon single crystal
WO0183860
Art A1
8. November 2001
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0183860
- Aktenzeichen
- EP01925916
- Anmeldetag
- 25. April 2001
- Veröffentlichung
- 8. November 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/06H01L21/322
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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