High quality silicon wafer and method for producing silicon single crystal

WO0183860 Art A1 8. November 2001

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0183860
Aktenzeichen
EP01925916
Anmeldetag
25. April 2001
Veröffentlichung
8. November 2001
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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