Measuring Plasma Uniformity In-Situ At Wafer Level

WO0186688 Art A1 15. November 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0186688
Aktenzeichen: EP01932538
Anmeldetag: 4. Mai 2001
Veröffentlichung: 15. November 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/30H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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