Verfahren zur Überwachung der Ionenimplantation mittels Überprüfung eines Darüberliegenden Abdeckmaterials
WO0188955
Art A2
22. November 2001
Anmelder: Kla-Tencor Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0188955
- Aktenzeichen
- EP01937318
- Anmeldetag
- 10. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 22. November 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.