Method for growing single crystal and apparatus for producing single crystal, and silicon single crystal produced by the method
WO0192610
Art A1
6. Dezember 2001
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0192610
- Aktenzeichen
- EP01932320
- Anmeldetag
- 29. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B15/22C30B29/06H01L21/208
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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