Method for growing single crystal and apparatus for producing single crystal, and silicon single crystal produced by the method

WO0192610 Art A1 6. Dezember 2001

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0192610
Aktenzeichen
EP01932320
Anmeldetag
29. Mai 2001
Veröffentlichung
6. Dezember 2001
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/22C30B29/06H01L21/208
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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