Staggered torsional electrostatic combdrive and method of forming same

WO0192939 Art A1 6. Dezember 2001

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0192939
Aktenzeichen: EP01944134
Anmeldetag: 14. Mai 2001
Veröffentlichung: 6. Dezember 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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