Verfahren zur Ald-Beschichtung auf einem Substrat unter Verwendung von Deuterierten Vorläuferverbindungen

WO0194662 Art A1 13. Dezember 2001

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0194662
Aktenzeichen: EP01945370
Anmeldetag: 7. Juni 2001
Veröffentlichung: 13. Dezember 2001
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/40C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von