Apparatus and method for applying feedback control to a magnetic lens

WO0196843 Art A1 20. Dezember 2001

Anmelder: Kla-Tencor Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0196843
Aktenzeichen: EP01946475
Anmeldetag: 15. Juni 2001
Veröffentlichung: 20. Dezember 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/00H01J37/141H01J37/147H01J37/244H01J37/256

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kla-Tencor Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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