Differenzfrequenz-Abbildung und -Spektroskopie zur Messung der Dotierung unter Verwendung eines Wechselstrom-Rastertunnelmikroskops

WO0196888 Art A2 20. Dezember 2001

Anmelder: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0196888
Aktenzeichen: EP01944516
Anmeldetag: 15. Juni 2001
Veröffentlichung: 20. Dezember 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G12B21/04

Offizieller Volltext

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Firma: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Penn State Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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