Temperaturgesteuerte Gasdurchfuhrung

WO0198556 Art A2 27. Dezember 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc., Sajoto, Talex, Dornfest, Charles, Selyutin, Leonid, Zhao, Jun, Ku, Vincent 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0198556
Aktenzeichen: EP01946368
Anmeldetag: 15. Juni 2001
Veröffentlichung: 27. Dezember 2001
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Sajoto, Talex
Dornfest, Charles
Selyutin, Leonid
Zhao, Jun
Ku, Vincent
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von