Orientierungsunabhängige Oxidation von Silizium

WO0198563 Art A2 27. Dezember 2001

Anmelder: Infineon Technologies North America Corp., International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0198563
Aktenzeichen: EP01946347
Anmeldetag: 14. Juni 2001
Veröffentlichung: 27. Dezember 2001
Rechtsraum: WO
IPC: C30B33/00H01L21/28C30B29/06H01L21/316H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Infineon Technologies North America Corp.
International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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