Verfahren zur Verringerung von Entwicklungsdefekten in und um Öffnungen in Photolack mittels Unstrukturierter Belichtung
WO0198836
Art A2
27. Dezember 2001
Anmelder: Infineon Technologies North America Corp., International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0198836
- Aktenzeichen
- EP01948562
- Anmeldetag
- 21. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 27. Dezember 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20H01L21/027G03F7/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Infineon Technologies North America Corp.
International Business Machines Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Vertreten von
Fischer, Volker
München, Deutschland
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