Gaslagerdrehvorrichtung zur Behandlung von Substraten

WO0199257 Art A1 27. Dezember 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0199257
Aktenzeichen: EP01946680
Anmeldetag: 21. Juni 2001
Veröffentlichung: 27. Dezember 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H02K7/08H01L21/00F16C32/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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