Stripping agent composition and method of stripping

WO0201300 Art A1 3. Januar 2002

Anmelder: NEC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0201300
Aktenzeichen: EP01943836
Anmeldetag: 27. Juni 2001
Veröffentlichung: 3. Januar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/42H01L21/304C23F11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NEC Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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