Integrated electronic hardware for wafer processing control and diagnostic

WO0203416 Art A2 10. Januar 2002

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0203416
Aktenzeichen: EP01950709
Anmeldetag: 28. Juni 2001
Veröffentlichung: 10. Januar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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