Operation monitoring method for treatment apparatus

WO0203441 Art A1 10. Januar 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0203441
Aktenzeichen: EP01945793
Anmeldetag: 3. Juli 2001
Veröffentlichung: 10. Januar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/205C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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