Aerosol-Silizium-Nanopartikel für die Nutzung in der Halbleiterbauelementeherstellung

WO0203472 Art A2 10. Januar 2002

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0203472
Aktenzeichen: EP01950707
Anmeldetag: 29. Juni 2001
Veröffentlichung: 10. Januar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/788

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Anmelder

Firma: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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