Halbleiterscheiben-Charakterisierung mittels Verbesserter S-Parameter-Profil-Aufzeichnung

WO02052635 Art A2 4. Juli 2002

Anmelder: Ericsson Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02052635
Aktenzeichen: EP01984896
Anmeldetag: 19. Dezember 2001
Veröffentlichung: 4. Juli 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ericsson Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇸🇪 Ericsson

Schwedischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Stockholm. Ericsson entwickelt Netzwerkinfrastruktur, Mobilfunktechnologien (u.a. 5G) und Kommunikationslösungen für Netzbetreiber und Unternehmen weltweit.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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