Pressure control method, transfer device, and cluster tool

WO02052638 Art A1 4. Juli 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02052638
Aktenzeichen: EP01272307
Anmeldetag: 25. Dezember 2001
Veröffentlichung: 4. Juli 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/302B01J3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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