Uv-Laser-System und Verfahren zum Abtrennen Schmelzverbindungen einer Integrierten Schaltung mit einem Einzigen Impuls

WO0205345 Art A1 17. Januar 2002

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0205345
Aktenzeichen: EP01951046
Anmeldetag: 11. Juli 2001
Veröffentlichung: 17. Januar 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768B23K26/04B23K26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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