Ladungsaustauschvorrichtung für Ladenenteilchenbeschleuniger

WO02054412 Art A2 11. Juli 2002

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02054412
Aktenzeichen: EP01985122
Anmeldetag: 20. Dezember 2001
Veröffentlichung: 11. Juli 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G21K1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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