Verfahren zur Herstellung vom Mikrostrukturen

WO02054458 Art A2 11. Juli 2002

Anmelder: International Business Machines Corporation, IBM DEUTSCHLAND GMBH 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02054458
Aktenzeichen: EP01985439
Anmeldetag: 21. Dezember 2001
Veröffentlichung: 11. Juli 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: International Business Machines Corporation
IBM DEUTSCHLAND GMBH
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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