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WO02054900 Art A1 18. Juli 2002

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO02054900
Aktenzeichen
EP02705720
Anmeldetag
9. Januar 2002
Veröffentlichung
18. Juli 2002
Rechtsraum
WO
IPC
A43B7/02A43B5/04A43B11/00A43C11/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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