Device and method for feeding treating air

WO02055938 Art A1 18. Juli 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, TAISEI CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02055938
Aktenzeichen: EP02729522
Anmeldetag: 9. Januar 2002
Veröffentlichung: 18. Juli 2002
Rechtsraum: WO
IPC: F24F3/147F24F7/06H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
TAISEI CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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