Polishing method, polishing device, and semiconductor device producing method

WO02056356 Art A1 18. Juli 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02056356
Aktenzeichen: EP02729512
Anmeldetag: 7. Januar 2002
Veröffentlichung: 18. Juli 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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