Zoom optical system, aligner having the zoom optical system, and aligning method

WO02057830 Art A1 25. Juli 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO02057830
Aktenzeichen: EP02732184
Anmeldetag: 10. Januar 2002
Veröffentlichung: 25. Juli 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G02B15/20G02B19/00H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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